Yazdır

DERS BİLGİLERİ
Ders KodDers AdT+U SaatYarıyılAKTS
FIZ 513İNCE FİLM ÜRETİM TEKNOLOJİSİ3 + 02. Yarıyıl7,5

DERS TANIMI
Ders Düzeyi Yüksek Lisans
Ders Türü Seçmeli
Dersin Amacı Bu dersin amacı ince filmi tanımlayarak, özelliklerini ve üretim tekniklerini öğretmek ve bu tekniklerin avantaj ve dezavantajlarını incelemektir.
Ders İçeriği İnce Film Fiziği, Büyüme ve Şekillenme, Gazların Vakum ve Kinetiği, Kimyasal Kaplama, Fiziksel Kaplama, Diğer Kaplama İşlemleri, Termal Buharlaştırma, Çığalama, Plazmalar, CSD, CVD, PECVD, PVD, E-Demet Buharlaştırma, PLD, ark-PVD, MBE, İnce Filmlerin Yapı, Optik, Elektrik ve Manyetik Özellikleri, Karakterizasyon Teknikleri
Ders Ön Koşul Dersin ön koşulu yok.
Ders Yan Koşul Dersin yan koşulu yok.
Öğretim Sistemi Yüz Yüze

DERS ÖĞRENME KAZANIMLARI
1İnce film üretim tekniklerinin temel prensipleri öġrenilir.

DERS ÖĞRENME KAZANIMININ PROGRAM YETERLİLİKLERİNE KATKISI
NoPY 01PY 02PY 03PY 04PY 05PY 06PY 07PY 08PY 09
ÖK 00143    4  
Ara Toplam43    4  
Katkı430000400

AKTS / İŞ YÜKÜ TABLOSU
EtkinlikSayısıSüresi (Saat)Toplam İş Yükü (Saat)
Ders Süresi(14 hafta/teorik+uygulama)14342
Sınıf Dışı Ders Çalışma Süresi(Ön çalışma, pekiştirme)14570
Ödevler21020
Arasınavlar(hazırlık süresi dahil)12626
Yarıyıl Sonu Sınavı(hazırlık süresi dahil)13737
Toplam İş Yükü

Dersin AKTS Kredisi






195

7,5
DERS ŞUBELERİ
 Dönem seçiniz :   


 Ders DönemiŞube NoDersi Veren Öğretim Elemanı
Detay 2017-2018 Bahar1KORAY YILMAZ
Detay 2016-2017 Bahar1KORAY YILMAZ
Detay 2014-2015 Güz1KORAY YILMAZ


Yazdır

Ders Şube Detayları
Dersin Kodu Dersin Ad Saat (T+P) Şube No Öğretim Dili Şube Dönemi
FIZ 513 İNCE FİLM ÜRETİM TEKNOLOJİSİ 3 + 0 1 Türkçe 2017-2018 Bahar
Öğretim Elemanı  E-Posta  İç Hat  Ders Yeri Devam Zorunluluğu
Prof. Dr. KORAY YILMAZ kyilmaz@pau.edu.tr FEN B0303 Dersin Devam Yüzdesi : %80
Amaç Bu dersin amacı ince filmi tanımlayarak, özelliklerini ve üretim tekniklerini öğretmek ve bu tekniklerin avantaj ve dezavantajlarını incelemektir.
İçerik İnce Film Fiziği, Büyüme ve Şekillenme, Gazların Vakum ve Kinetiği, Kimyasal Kaplama, Fiziksel Kaplama, Diğer Kaplama İşlemleri, Termal Buharlaştırma, Çığalama, Plazmalar, CSD, CVD, PECVD, PVD, E-Demet Buharlaştırma, PLD, ark-PVD, MBE, İnce Filmlerin Yapı, Optik, Elektrik ve Manyetik Özellikleri, Karakterizasyon Teknikleri
Haftalık Konu Başlıkları
HaftaKonular
1 İnce film fiziği
2 Büyütme işlemi
3 PVD teknikleri
4 PVD teknikleri
5 PVD teknikleri
6 PVD teknikleri
7 Arasınav
8 MBE
9 MBE
10 Kimyasal büyütme teknikleri
11 Kimyasal büyütme teknikleri
12 Kimyasal büyütme teknikleri
13 Diğer teknikler
14 Final
Materyaller
Materyal belirtilmemiştir.
Kaynaklar
Ders Değerlendirme Sistemi
Değerlendirme YöntemiKatkı Yüzdesi (%)Değerlendirme Yöntemi Ad
Dönem Sonu Sınavı50Dönem Sonu Sınavı
Ara Sınav50Ara Sınav
T+U : Teorik + Pratik
PY: Program Yeterlilikleri
ÖK: Ders Öğrenme Kazanımları